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QST2300 是一款支持高壓全范圍半導(dǎo)體器件參數(shù)精密測(cè)試儀器，可進(jìn)行高壓電流電壓測(cè)試(IV)、高壓電容電壓測(cè)試(CV)、大功率大電流脈沖測(cè)試(Pulsed IV)等。它能夠?qū)捊麕О雽?dǎo)體材料和器件(SiC、GaN、Ga2O3等)參數(shù)進(jìn)行快速高精度測(cè)試和性能表征。

QST2320高壓型SMU，提供四象限精密電壓和電流源/負(fù)載，使用簡(jiǎn)單易用的觸摸屏用戶(hù)界面進(jìn)行測(cè) 量。最高3000V的測(cè)量及輸出電壓，滿(mǎn)足用戶(hù)高壓下高精度測(cè)量的需求。高達(dá)0.1fA的測(cè)量分辨率及 100fA的準(zhǔn)確度。可用于測(cè)試高電阻、低泄漏器件、材料和模塊，如碳化硅 (SiC)、氮化鎵(GaN)、功 率 MOSFET、瞬態(tài)抑制器件、電路保護(hù)器件、功率模塊和電池等。

缺陷能譜測(cè)試儀利用深能級(jí)陷阱對(duì)載流子的俘獲和激發(fā)特性所表現(xiàn)出的電學(xué)特性測(cè)量半導(dǎo)體材料、器件、外延的界面態(tài)、雜質(zhì)濃度、缺陷能級(jí)位等表征參數(shù)。設(shè)備通過(guò)對(duì)樣品施加多種激勵(lì)，對(duì)樣品的電容進(jìn)行高速數(shù)字化，實(shí)時(shí)分析其時(shí)頻特性，并采用先進(jìn)的AI技術(shù)對(duì)缺陷數(shù)據(jù)進(jìn)行分類(lèi)、識(shí)別、統(tǒng)計(jì)，為試驗(yàn)和生產(chǎn)提供有效指導(dǎo)數(shù)據(jù)。

QDT2050A功率器件動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試機(jī)采用智能測(cè)試軟件協(xié)同管理高分辨率示波器、電源、信號(hào)源、LCR、柵極電阻、負(fù)載等完成對(duì)最高2KV/500A的功率器件動(dòng)態(tài)參數(shù)的一鍵全自動(dòng)測(cè)試，數(shù)據(jù)自動(dòng)判別，生成測(cè)試數(shù)據(jù)和報(bào)告，配合探針臺(tái)、分選機(jī)實(shí)現(xiàn)晶圓、產(chǎn)線(xiàn)快速測(cè)試和驗(yàn)證。采用內(nèi)置傳感器、開(kāi)關(guān)陣列等實(shí)現(xiàn)測(cè)試項(xiàng)、柵極電阻、感性/阻性負(fù)載自動(dòng)調(diào)整，簡(jiǎn)化系統(tǒng)連線(xiàn)，優(yōu)化環(huán)路電感，使測(cè)試更簡(jiǎn)便穩(wěn)定、安全可靠，適用于第三代半導(dǎo)體功率器件MOSFET、IGBT、IPM等動(dòng)態(tài)參數(shù)特性的測(cè)試、器件分選，為芯片設(shè)計(jì)、分選、入廠(chǎng)檢測(cè)、驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)、失效分析等環(huán)節(jié)提供數(shù)據(jù)支撐，幫助用戶(hù)快速應(yīng)對(duì)各種市場(chǎng)應(yīng)用需求